LEVITRONIX萊維特尼微電子濕製程應(yīng)用超潔凈無(wú)軸承泵BPS-600 ST 

LEVITRONIX萊維特尼微電子濕製程應(yīng)用超潔凈無(wú)軸承泵BPS-600 ST 

The Levitronix® BPS-600 不銹鋼設(shè)計(jì)用于微電子濕應(yīng)用中精細(xì)流體的超純處理?；谥鲃?dòng)磁懸浮，泵葉輪被電機(jī)磁場(chǎng)懸浮起來(lái)，并受其驅(qū)動(dòng)。寬大的間隙確保運(yùn)動(dòng)部件之間沒(méi)有機(jī)械接觸，因此，不存在磨損，不會(huì)產(chǎn)生軸承磨損或密封件損壞，葉輪和外殼均由導(dǎo)電不銹鋼制成，可用于溶劑應(yīng)用。通過(guò)電子調(diào)節(jié)葉輪速度來(lái)精確控制流體流速和壓力。

行業(yè)經(jīng)驗(yàn)證明 – 半導(dǎo)體制造（及其他領(lǐng)域）中最純凈的泵！ 由于葉輪和泵頭外殼之間沒(méi)有機(jī)械耦合，因此沒(méi)有磨損，因此幾乎不會(huì)產(chǎn)生顆粒。顯著低于氣動(dòng)泵 Levitronix®泵的濕表面面積要比同等輸液功率的氣動(dòng)泵小好幾倍。可靠性 由于不會(huì)發(fā)生軸承磨損或密封件損壞，設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間增加，您的工藝設(shè)備的壽命得以延長(zhǎng)，維護(hù)成本降低。改進(jìn)的過(guò)濾器性能 開放式泵頭設(shè)計(jì)、高流量分辨率、離心泵原理和無(wú)閥門導(dǎo)致無(wú)無(wú)脈沖流量。從而提高超純過(guò)濾器的性能。體積顯著小于氣動(dòng)泵 泵和電機(jī)采用高集成設(shè)計(jì)，加上沒(méi)有機(jī)械軸承，大大減少了安裝空間，可被安裝在有限的空間內(nèi)。非常適用于研磨液和精密電鍍液光滑濕潤(rùn)的塑性材料表面加上無(wú)機(jī)械軸承、窄縫、裂紋和死區(qū)，因此可以對(duì)敏感液體進(jìn)行溫和處理。