# 2024年新品發(fā)布會#

日期：2024年1月6日

時間：8：30-18：30

近期我司新推出升級了進口供應HORIBA堀場氣體濃度監(jiān)測儀IR-300

用于鼓泡供應管線的在線氣體濃度監(jiān)測器。用于原料氣體的穩(wěn)定供應。 MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）廣泛應用于LED制造工藝和光學器件制造工藝中。該 MOCVD 設備采用液體/固體材料，通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應線路中，實時氣體濃度監(jiān)測對于實現(xiàn)穩(wěn)定的薄膜沉積過程非常重要。氣體濃度監(jiān)測儀IR-300系列已安裝在MOCVD設備的原料氣供應線上，可實現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測。支持原料氣體的穩(wěn)定供應。　

實時監(jiān)測響應 速度和重復性跟蹤氣體濃度變化 多種校準曲線功能（可選） 最多可安裝 3 種測量氣體/滿量程濃度（=校準曲線）。 多顯示器功能 配備多顯示器，將主機頂部的多顯示器與模式LED相結合，可現(xiàn)場檢查濃度監(jiān)測和供應線路信息。 通訊功能 支持DeviceNet通訊及兼容數(shù)字/模擬信號的通訊方式 設計緊湊簡潔 ，尺寸124毫米，設計緊湊，安裝位置不受限制。